1um poraina titāna filtra kasetne pusvadītāju mitrai apstrādei

1 um porainā titāna filtra kasetne pusvadītāju slapjai apstrādei nodrošina absolūtu -nominālo daļiņu aizturi agresīvā ķīmiskā vidē, kur polimēru membrānas uzbriest vai noārdās. Izgatavots no 99,4% vai vienāds ar 99,4% rūpnieciska augstas -tīrības titāna pulvera, izmantojot aukstu izostatisku presēšanu un augstas -temperatūras vakuuma saķepināšanu, šis metāla pulvera saķepināšanas filtrs nodrošina vienmērīgu mikroporainu struktūru ar porainību 30-40% un šauru poru izmēru sadalījumu. API farmācijas ražošanas dekarbonizācijas filtrācijā 1 μm saķepināta titāna stieņu filtrs uztver smalkas aktīvās ogles atlikumus un katalizatora daļiņas no augstas viskozitātes mātes šķidrumiem, ar atkārtoti lietojamu pretskalošanas iespēju, kas vairākas reizes pagarina kalpošanas laiku, pārsniedzot membrānas alternatīvas. Slapjā-procesa pusvadītāju ražošanā tiek integrēti 1 um titāna pulvera saķepinātie filtri ķīmisko vielu piegādes līnijās SC-1, SC-2, 49% HF un HNO₃ plūsmām, kur titāna substrāts ir izturīgs pret bedrēm no bezhlorīda līmeņa tērauda stieņiem. 1um precizitāte noņem submikronu silīciju saturošas daļiņas un metāliskus piesārņotājus, neizlaižot daļiņas, saglabājot filtrāta tīrību, kas nepieciešama nanometru mēroga plāksnīšu apstrādei.

Augstas-tīrības ūdens attīrīšanas cilpas lietojumprogrammās tiek izmantota 1 um poraina titāna filtra kasetne pusvadītāju mitrai apstrādei kā galīgā drošības filtrēšana pirms ultrafiltrēšanas un EDI sistēmām, kur titāna pulvera saķepinātais elements iztur periodisku ozona sterilizāciju un tvaiku-apstākļos,{3}}8 grādi līdz 20 grādiem. Atšķirībā no polipropilēna dziļuma filtriem vai PTFE membrānas kasetnēm, kas termiskās cikla laikā mīkstina vai atslāņojas, vakuum-saķepinātā titāna matrica saglabā izmēru integritāti pH 1-14 diapazonā un iztur diferenciālo spiedienu līdz 5,0 bar bez poru struktūras sabrukšanas. CMP suspensijas pulēšanas cilpas modernajos veidos izmanto 1 μm titāna filtru kasetnes pēc-sveķu adsorbcijas stadijas, lai notvertu aglomerētas liela izmēra abrazīvās daļiņas, vienlaikus saglabājot koloidālā silīcija dioksīda vai cerija suspensiju daļiņu izmēru sadalījumu. Ne-daļiņu izkliedēšanas raksturlielums un tiešsaistes reģenerējamība, izmantojot pretskalošanu vai ultraskaņas tīrīšanu, ļauj atkārtoti izmantot, samazinot filtra nomaiņas biežumu un ekspluatācijas izmaksas nepārtrauktās pusvadītāju slapjās darbnīcās.

Precīzijas filtrēšanas novērtējums — 1 um porainā titāna filtra kasetne nodrošina absolūtu -novērtēto daļiņu aizturi pusvadītāju mitrās apstrādes līnijās, noņemot submikronu silīcija atlikumus, metāliskus piesārņotājus un želejveida daļiņas no agresīvām ķīmiskām vielām, tostarp HF, SCNO-2, tostarp HF, SCNO-2.

Izturība pret koroziju ārkārtējos pH diapazonos — ražots no 99,4% vai vienāds ar 99,4% augstas -tīrības titāna pulvera, izmantojot vakuuma saķepināšanu, šī saķepinātā titāna filtra kasetne iztur pH 1–14 vidēs, izturot punktveida izsitumus un hlorīdu uzbrukumu, kas ātri noārda instellobench bezfiltru sistēmas.

Augsta termiskā stabilitāte karstiem DIW un SIP cikliem — titāna pulvera saķepināšanas filtrs iztur nepārtrauktu darbību 280 grādos mitros apstākļos, atbalstot sterilizāciju ar tvaiku -vietā (SIP) un skalošanu ar karstu dejonizētu ūdeni, nemīkstinot, atslāņojoties vai izskalojot ekstrahējamos materiālus vai polipropilēna membrānas kasetēm.

No particle shedding – Unlike depth filters or wound cartridges, the rigid sintered metal structure eliminates fiber release or media migration, maintaining ultrapure filtrate essential for nanometer-scale wafer fabrication where any foreign particle >0,5 μm izraisa letālus ierīces defektus.

Lieliska pretskalošanas reģenerējamība — 1 um porainā titāna filtra kasetne atbalsta tiešsaistes pretskalošanu, ultraskaņas tīrīšanu un skābes reģenerāciju, noņemot notvertās cietās vielas un atjaunojot sākotnējos plūsmas ātrumus desmitiem atkārtotas izmantošanas ciklu, ievērojami samazinot kasetņu nomaiņas biežumu un ekspluatācijas izmaksas liela apjoma{1}}uzņēmumos.

Augsta diferenciālā spiediena tolerance — vakuuma-saķepināta titāna matrica saglabā poru struktūras integritāti pie diferenciālā spiediena līdz 5,0 bar, pārspējot membrānas filtrus, kas sabrūk vai plīst pārsprieguma plūsmas vai aizsērēšanas laikā pusvadītāju mitrās apstrādes iekārtās.

Augstas-tīrības ķīmiskās sadales līnijas vafeļu audumos — uzstādītas -lietošanas vietas (POU) filtru korpusos 49% HF, HNO₃, NH₄OH, H₂SO₄ un HCl plūsmām, 1 um saķepinātā titāna putekļu un metāla silīcija filtra kasetnes noņemšana. soliņi un vienas -vafeles procesori.

Ozonēta dejonizēta ūdens (DIO₃) recirkulācijas cilpas — tiek izmantota kā drošības filtrēšana pēc-CMP tīrīšanas un fotorezista noņemšanas rīkos. 1 um porainā titāna kārtridžs ir izturīgs pret ozona koncentrāciju līdz 20 ppm un nepārtrauktu UV iedarbību, kur polipropilēna filtri trausls un PTFE membrānas zaudē mehānisko integritāti.

CMP slurry polishing loops – final polish and bulk removal – Positioned after slurry blending tanks and before dispense arms for colloidal silica, ceria, or alumina slurries. The sintered titanium filter traps over-sized agglomerates (>1um), vienlaikus saglabājot dabisko daļiņu izmēru sadalījumu un zeta potenciālu, saglabājot konsekventu noņemšanas ātrumu un -vafeles neviendabīgumu (WIWNU).

Post-CMP birstes kastes skrubera ūdens filtrēšana — uzstādīta dejonizētā ūdens līnijās, kas baro PVA sukas, lai pēc vafeļu pulēšanas atgūtu atlikušās abrazīvās daļiņas un vara jonus. 1 um absolūtais novērtējums novērš mikroskrāpējumus uz vara un zemu-k dielektriskām virsmām, saskaroties ar suku.

Īpaši tīra ūdens (UPW) pulēšanas cilpas gala drošības filtrs — novietots pirms -lietošanas-punkta (POU) vārstiem mitrās kodināšanas un skalošanas stacijās. Titāna pulvera filtra kasetne darbojas karstā UPW (80 grādi) un periodiskos tvaika sterilizācijas ciklos, neizlaižot daļiņas, saglabājot baktēriju kontroli un daļiņu skaitu, kas ir zemāks par 1. klases prasībām.

Bezelektriskas niķeļa un kobalta pārklājuma vannas barjeras/sēklu slāņiem – integrētas pārklājuma vannas attīrīšanas sliedēs, lai noņemtu daļiņu piesārņojumu no stabilizatoriem un kompleksveidotājiem. Korozijizturīgā-titāna matrica darbojas paaugstinātā temperatūrā (70–90 grādi) un sārmainā pH, neradot ūdeņraža trauslumu vai vannas piesārņojumu.

Tālr.: 0917-3873009

Tālrunis: +86 18992731201

E-pasts:zhangjixia@bjygti.com

Fakss: 0917-3873009

Adrese: No. 195, Gaoxin Avenue, High-tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Ķīna

Whatsapp: +86 18992731201

Populāri tagi: 1um poraina titāna filtra kasetne pusvadītāju mitrai apstrādei, Ķīna, piegādātāji, ražotāji, pielāgoti, lietojums, cenrādis, pārdošanai, noliktavā, bezmaksas paraugs, porains materiāls