Nerūsējošā tērauda pulvera filtru kasetnes ar VCR 1/2" interfeisiem ir kritiski komponenti pusvadītāju ražošanā, īpaši izstrādāti augstas-tīrības gāzu sadales sistēmām. Šajās filtru kasetnēs tiek izmantota uzlabota metāla pulvera saķepināšanas tehnoloģija, lai panāktu precīzu filtrēšanu, efektīvi uztverot daļiņas, kuru izmērs ir līdz 5 mikroniem. Tas nodrošina īpaši jutīgas procesa gāzu integritāti. pusvadītāju izgatavošanas procesi VCR 1/2 collu saskarne nodrošina pret noplūdi no metāla-pret{12}}metālu, kas atbilst stingrām pusvadītāju vides prasībām, kur pat niecīgi gāzes piemaisījumi var izraisīt būtiskus mikroelektronikas ierīču defektus. To izturīgā konstrukcija no korozijizturīga{14}nerūsējošā tērauda garantē izturību un ilgtermiņa uzticamību ekstremālos apstākļos.

Pusvadītāju lietojumos šīm filtru kasetnēm ir būtiska nozīme, lai aizsargātu pakārtotās iekārtas, piemēram, masas plūsmas regulatorus un precīzijas vārstus no daļiņu piesārņojuma. Nemanāmi integrējoties esošajās augstas-tīrības gāzes līnijās, tās vienkāršo uzstādīšanu un apkopi, vienlaikus samazinot sistēmas dīkstāves laiku. Augstas filtrēšanas efektivitātes, izcilas ķīmiskās izturības un uzticama blīvējuma kombinācija padara tos par neaizstājamiem, lai nodrošinātu konsekventu gāzes tīrību un darbības efektivitāti progresīvās pusvadītāju ražošanas iekārtās.

Produktu specifikācijas

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

Materiāls: 316L pulveris
Izmērs: φ40*196.3mm
Filtra precizitāte: 5 mikroni
Interfeiss: VCR1/2"
Tehniskā: saķepināšana

Produktu īpašības

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. Īpaši augsta tīrība un daļiņu aizture
- Saķepināta nerūsējošā tērauda konstrukcija (parasti 316 L) nodrošina tīru, pilnībā metālisku filtrēšanas līdzekli bez saistvielām, līmvielām vai organiskiem atlikumiem.
- Spēj aizturēt līdz 0,5 μm mazākas daļiņas, novēršot mikropiesārņojuma nokļūšanu procesa kamerās vai plāksnēs.
- Nav daļiņu izdalīšanās, nodrošinot stabilu daļiņu skaitu ilgstošas lietošanas laikā.

2. Izturīga mehāniskā un termiskā stabilitāte
- Pilnmetāla dizains iztur augstu spiedienu, augstu temperatūru un biežus termiskos ciklus.
- Saglabā mehānisko integritāti vibrācijas, apgrieztās plūsmas vai spiediena pulsācijas apstākļos-, kas ir izplatīti gāzes sadales sistēmās.
- Savietojams ar siltuma izsekošanu augstas temperatūras gāzes vadiem.

3. Atkārtoti attīrāms un atjaunojams
- Filtru elementus var izskalot, tīrīt ar ultraskaņu vai cept vakuumā, tādējādi nodrošinot ilgāku kalpošanas laiku salīdzinājumā ar polimēru vai keramikas filtriem.
- Parastais dzīves cikls ir 5–10 reizes no vienreizlietojamo PTFE vai PVDF filtru dzīves cikla, tādējādi samazinot dīkstāves laiku un kopējās īpašumtiesību izmaksas.

4. Ķīmiskā saderība un izturība pret koroziju
- 316L nerūsējošais tērauds saglabā pasīvo oksīda plēvi hlorīda, fluora, amonjaka un skābu gāzu vidē.
- Nereaģējoša virsma novērš metāla jonu ekstrakciju vai gāzes sastāva izmaiņas.

lietojumprogrammas

1. UHP gāzes sadales līnijas
- Uzstādīts lielapjoma gāzes padeves svirās, gāzes skapjos un VMB/VMP paneļos, filtrējot daļiņas, pirms gāze nonāk MFC vai apstrādes rīkos.
- Izmanto N₂, Ar, H2, He, O2, NH3, CF4 un citās augstas tīrības gāzes līnijās, kas baro kritiskos procesus.

2. Masas plūsmas regulatora (MFC) ieplūdes aizsardzība
- Novērš daļiņu piesārņojumu un vārstu nodilumu precīzijas masas plūsmas regulatoros.
- Uzlabo ilgtermiņa plūsmas stabilitāti un MFC kalibrēšanas konsekvenci.

3. Procesa kameras un instrumenta gāzes ieplūdes atveres
- Nodrošina bez daļiņām un mitruma piegādi CVD, ALD, kodināšanas un difūzijas krāsnīs.
- Izmanto SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ un TEOS līnijās, kur tīrība ir būtiska plēves kvalitātei un ražībai.

4. Speciālās gāzes un prekursoru sistēmas
- Gāzēm uz metālu organiskām vai halogēnu bāzes, kur ķīmiskajai inercei un temperatūras stabilitātei ir izšķiroša nozīme.
- Bieži tiek novietots aiz iztvaicētājiem vai burbuļotājiem, lai uztvertu kondensētas daļiņas vai pilienus.

Sazinieties ar mums

Tālr.: 0917-3873009

Tālrunis: +86 18992731201

E-pasts:zhangjixia@bjygti.com

Fakss: 0917-3873009

Adrese: No. 195, Gaoxin Avenue, High-tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Ķīna

WhatsApp: +86 18992731201

Populāri tagi: 5 mikronu nerūsējošā tērauda pulvera filtru kasetnes ar VCR 1/2" saskarnēm, Ķīna, piegādātāji, ražotāji, pielāgoti, lietojums, cenrādis, pārdošana, noliktavā, bezmaksas paraugs, porains materiāls

Produktiem

5 mikronu nerūsējošā tērauda pulvera filtra kasetnes ar VCR 1/2" interfeisiem

Produktu specifikācijas

Produktu īpašības

lietojumprogrammas

Sazinieties ar mums